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设备综合效率在真空刻蚀机上的应用
古枫, 黎明柱
The Application of OEE in Vacuum Dry Etch Machine
《江苏科技信息》杂志社 . 2015, (21): 50 -53 .  DOI: 10.3969/j.issn.1004-7530.2015.21.017